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530型三維表面形貌儀

530型三維表面形貌儀

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產(chǎn)品簡介
333型三維表面形貌儀是一款多功能的三維形貌儀,采用國際領先的白光共聚焦技術,可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,具有測量精度高,速度快,重復性好的優(yōu)點,該儀器可用于測量大尺寸樣品,并具有多種選項,包含雙軸旋轉(zhuǎn)工作臺,微力級接觸式測針、非接觸式傳感器等多種功能模塊。
產(chǎn)品特性
采用白光共聚焦色差技術,可獲得納米級的分辨率
測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高
測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);
尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環(huán)境光的影響
測量簡單,樣品無需特殊處理
Z方向,測量范圍大:為27mm
主要技術參數(shù)
掃描范圍:300mm×300mm×300mm
掃描步長:0.51μm/0.1μm
掃描速度:50mm/s
Z方向測量范圍:27mm
方向測量分辨率:1nm

可選配:白光測頭、影像測頭、接觸式粗糙度測頭、微孔粗糙度測頭、雙軸轉(zhuǎn)臺。
產(chǎn)品應用
精密部件表面粗糙度和微觀形貌、MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)。

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